第四色播日韩AV第一页,免费毛片A级毛片免费观看800 ,果冻传媒老狼一卡二卡九九

MEMS加工的加速度技術(shù)

點(diǎn)擊量：1509 日期：2021-11-18 編輯：硅時(shí)代

　　MEMS加工的加速度傳感器是一種能夠測(cè)量加速力的電子設(shè)備。加速度計(jì)目前有兩種：一種是角加速度傳感器，也叫陀螺儀；另一種是線(xiàn)加速度計(jì)。

　　加速度傳感器的原理隨著其應(yīng)用不同而出現(xiàn)不同類(lèi)型的加速度傳感器，其分類(lèi)有壓阻式，電容式，壓電式，諧振式，伺服式等。

　　壓阻式是較早的微型化和商業(yè)化的一類(lèi)加速度傳感器。其加工工藝比較簡(jiǎn)單，主要采用注入、推進(jìn)、氧化的工藝來(lái)制作壓敏電阻；采用KOH腐蝕來(lái)制作質(zhì)量塊并使用AES來(lái)釋放梁和質(zhì)量快，最后采用鍵合工藝來(lái)得到所需的“三明治”結(jié)構(gòu)。

上一篇：MEMS加工和傳統(tǒng)機(jī)械加工的區(qū)別

下一篇：飛秒激光微納加工的動(dòng)力學(xué)原理

新聞
公司新聞

聯(lián)系我們
聯(lián)系電話(huà)：0512-62996316
傳真地址：0512-62996316
郵箱地址：sales@si-era.com
公司地址：中國(guó)（江蘇）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)蘇州片區(qū)——蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)納米城西北區(qū)09棟402室
關(guān)注與分析

微特云辦公系統(tǒng) 微納制造 MEMS設(shè)計(jì)

電話(huà)：15301560529