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2022-06-10
MEMS傳感器也稱作是微機電系統(tǒng),它涉及多門學科,綜合性比較強,應用前景廣闊,是當今備受矚目的領域之一。 MEMS設計是長期技術經驗的結晶,有...
2022-05-26
基于制造業(yè)對加工精度的要求日益提高,微納加工技術應運而生,從誕生至今,其應用領域得到了很大擴展。就國內而言,微納技術除了應用在微電子技術,生...
2022-05-05
微納制造技術是建筑納米科技大廈的基石之一,其在傳感器上的應用成果即MEMS傳感器,包括壓力傳感器,加速度傳感器,圖像傳感器等。這些傳感器在醫(yī)...
2022-04-12
mems設計之硅壓阻式壓力傳感器,顧名思義就是通過感知壓力變化工作的傳感器,其原理是敏感膜受壓后發(fā)生形變,引起惠斯通電橋的不平衡變化,繼而...