TEM(透射電子顯微鏡)
應(yīng)用:
透射電子顯微鏡在材料科學 、生物學上應(yīng)用較多。由于電子易散射或被物體吸收,故穿透力低,樣品的密度、厚度等都會影響到最后的成像質(zhì)量,必須制備更薄的超薄切片,通常為50~100nm。所以用透射電子顯微鏡觀察時的樣品需要處理得很薄。常用的方法有:超薄切片法、冷凍超薄切片法、冷凍蝕刻法、冷凍斷裂法等。對于液體樣品,通常是掛預(yù)處理過的銅網(wǎng)上進行觀察。
樣品要求:
粉末樣品基本要求:
(1)單顆粉末尺寸最好小于1μm;
(2)無磁性;
(3)以無機成分為主,否則會造成電鏡嚴重的污染,高壓跳掉,甚至擊壞高壓槍;
塊狀樣品基本要求:
(1)需要電解減薄或離子減薄,獲得幾十納米的薄區(qū)才能觀察;
(2)如晶粒尺寸小于1μm,也可用破碎等機械方法制成粉末來觀察;
(3)無磁性;
用途
X射線能譜在透射掃描電鏡中與掃描功能配合可得元素分布圖。應(yīng)用電子通道增強效應(yīng)還可以測定雜質(zhì)元素或合金元素在有序化合物中占據(jù)亞點陣位置的百分數(shù)。
優(yōu)點
(1)能譜儀探測X射線的效率高;
(2)在同一時間對分析點內(nèi)所有元素X射線光子的能量進行測定和計數(shù),在幾分鐘內(nèi)可得到定性分析結(jié)果,而波譜儀只能逐個測量每種元素特征波長;
(3)結(jié)構(gòu)簡單,穩(wěn)定性和重現(xiàn)性都很好;
(4)不必聚焦,對樣品表面無特殊要求,適于粗糙表面分析。